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四刀狹縫(可訂制)
四個電機獨立控制刀片 刀片平行度進行調教 方便安裝 真空兼容
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特點
- 四個電機獨立控制刀片
- 刀片平行度進行調教
- 方便安裝
- 真空兼容
規則參數:
開口尺寸:20x20mm
刀片行程:±5mm
分辨率:0.15μm/step
定位精度:1μm
刀片材質:鉬
尺寸:188x173x51mm
重量:1.7Kg